Buluş bir ivmelenme sensörü ile ve bu tip bir ivmelenme sensörünün üretimi için bir metot ile ilgilidir. Daha doğrusu, ivmelenme sensörünün substrat yüzeyine paralel bir ivmelenmenin ölçülmesi için bir mikro-elektro-mekanik ivmelenme sensörü ile ve bu tip bir mikro mekanik ivmelenme sensörünün üretimi için bir metot ile ilgilidir.
Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.
