Buluş sıcaklığın değişmesinden meydana gelen birden fazla DETF rezonatörünün (1,2) frekans kaymalarını görüntüleyerek sıcaklık değişikliklerini algılayabilen rezonant MEMS sıcaklık sensörleri ile ilgilidir.
Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.
