Aparat, bir hareketli substratı taşımak üzere düzenlenen bir destek, plazma üretmek üzere düzenlenen bir plazma üreteci ve plazma içerisindeki iyonları bir iyon akısı oluşturmak üzere hareketli substrata doğru yönlendirmek üzere düzenlenen bir elektrot içermektedir. İyon akısı 3.6 eV ile 250 eV arasında bir enerji seviyesine sahiptir. Alternatif olarak, plazma tanımlamaya yönelik aparat, çok sayıda aralıklı parkur bölümüne sahiptir.
Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.