Geniş alan mikrodalga plazma kimyasal buhar çökeltme (LA MPCVD) reaktörü aparatı ve geniş alan mikrodalga kimyasal buhar çökeltme yöntemi olup, bir birinci frekanstaki elektromanyetik enerji ile reaktör haznesinin bir iç kısmında bir plazma bölgesi sağlamak üzere uyarlanmış bir reaktör haznesi ve birinci frekansta sonsuz bir dalga boyu ile çalışacak şekilde uyarlanmış ve bir duvarda, CRLH dalga kılavuzu bölümünün bir iç kısmından reaktör haznesinin iç kısmına elektromanyetik enerjiyi bağlamak üzere düzenlenmiş bir kuplör tertibatına sahip bir CRLH dalga kılavuzu bölümü içermektedir. Şekil 10A
Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.
