Fotolitografiden Bağımsız Bir Mikroiğne Üretim Yöntemi

Buluş Özeti

Buluş, silikon alttaş dilimleme ve kesme makinesi ve kuru aşındırma tekniği kullanılarak silikon plaka üzerine geometriler işlenmesi sonucu mikroiğnelerin hızlı bir şekilde üretilmesini sağlayan bir yöntem (100) ile ilgilidir. TR 2022 017275 A2

IPC Sınıfları

A61B 17/34

Taraflar

Başvuran

Bilkent Üniversitesi Ulusal Nanoteknoloji Araştırma Merkezi Üniversiteler Mahallesi Bilkent Üniversitesi Merkez Kampüs - Çankaya Ankara Türkiye

Buluş Sahibi

İsmail Eş Fatih İnci Abdullah Kafadenk

Vekil

Zeliha Özsoy (3 Tek Patent Marka Danışmanlık A.Ş.)

Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.