Bu buluş, quartz kristallerinin piezolektrik etkisine dayalı olarak çalışan QTF (Quartz Tuning Fork) sensörlerini (3) kullanarak gerçek zamanlı olarak ince film kalınlığının ölçülmesini sağlayan bir ölçüm cihazı (1) ile ilgilidir. TR 2022 018799 A2
Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.