Alt-Örnekleme Nedeniyle Bozunum Altında Düşük Koheranslı Optik İnterferometri Teknikleri Vasıtasıyla Bir Gövde İle Bir Nesnenin Yüzeyi Arasındaki Ayırma Mesafesinin Belirlenmesine Yönelik Yöntem Ve Sistem

- Düşük koheranslı bir ölçüm optik radyasyon ışınının üretilmesini; ölçme ışınının nesneye nesneye doğru yönlendirilmesini ve nesneden yansıyan veya yayılan ölçüm ışınının, birinci bir geliş açısı yönünde optik bir interferometrik sensör düzenlemesine doğru yönlendirilmesini; - referans bir düşük koheranslı optik radyasyon ışınının üretilmesini, ve referans ışınının, ölçüm ışınının birinci geliş yönüne göre önceden belirlenmiş bir geliş açısında ikinci bir geliş açısı yönünde optik interferometrik sensör araçlarına doğru yönlendirilmesini; - ölçüm ışını ve referans ışınının, sensör araçlarının ortak bir geliş bölgesi üzerinde üst üste bindirilmesini; - geliş bölgesi üzerinde ölçüm ışını ve referans ışını arasında bir girişim saçakları modelinin konumunu tespit edilmesini; ve - (a) işleme aleti veya ölçme aracı ve nesnenin yüzeyi arasındaki geçerli ayırma mesafesi ile (b) önceden belirlenmiş nominal ayırma mesafesi arasındaki bir farkın göstergesi olan, geliş bölgesinin bir aydınlatma ekseni boyunca girişim saçakları modelinin konumuna dayanarak ölçme optik yolu ile referans optik yolu arasındaki optik uzunluktaki bir farkın belirlenmesini içeren; sensör araçlarının, aydınlatma ekseni (x) boyunca bir fotodedektör düzenlemesini içerdiği; ve geliş açısının, söz konusu girişim saçakları modelinin uzamsal frekansı, fotodedektörlerin uzamsal frekansından daha büyük olduğu şekilde kontrol edildiği; bir nesne veya bir malzeme arasındaki ayırma mesafesinin belirlenmesine yönelik bir yöntem ve sistem, ve nesne veya malzemenin ölçülmesine yönelik bir işleme aleti ya da aracı açıklanmaktadır.