Koherens Görüntüleme Ölçüm Sistemleri Ve Yöntemlerine Yönelik Statik Ve Dinamik Kalibrasyon

Statik ve dinamik kalibrasyona yönelik sistemler ve yöntemler, bir koherens görüntüleme (CI) ölçüm sisteminden bir ölçüm ışın demetinin bir malzeme işleme sisteminden bir işleme ışın demetine göre hizalanmasını sağlamak üzere kullanılabilir. Bu sistemlerde ve yöntemlerde, bir kalibrasyon ölçüm çıkışı, CI ölçüm sisteminden ve/veya bir yardımcı sensörden bir elde edilebilir. CI ölçüm sistemi tarafından gerçekleştirilen gelecekteki ölçümler, en azından kısmen, kalibrasyon ölçümü çıkışına dayalı olarak modifiye edilebilir.       $YUXSD3DWHQWOHULQLQ9HULOPHVLøOHøOJLOL$YUXSD 3DWHQW6|]OHúPHVLQLQ7UNL\H¶GH8\JXODPD ùHNOLQL*|VWHULU<|QHWPHOLN¶LQ XQFXPDGGHVL KNPX\DUÕQFD  İ67(0/(5ø <$<,0/$1$1$9583$ 3$7(17 %$ù9858/$5,