Bu buluş mikro elektro-mekanik sistem üretimi yöntemleri ile ilgili olup, özellikle tanışanabilir mikro gaz sensörü uygulamalarında kullanılmak üzere düşük güç tüketimi ve yüksek sıcaklık homojenitesi sağlayan kesintisiz ve kare geometride düzlemsel direnç tabakasına sahip bir mikro ısıtıcı taban, bunun üretim yöntemi ve bu mikro ısıtıcı tabanı içeren bir sensör ile ilgilidir.
Bu kayıt TPMK resmi patent bültenlerinden derlenmiştir ve bilgilendirme amaçlıdır. Güncel hukuki durum (itiraz, devir, hükümsüzlük) için kapsamlı bir sicil incelemesi gerekir. Uzmanlarımızdan kapsamlı patent araştırması isteyin.