Bir Vakum Sisteminde Çalışan Akışkanla İşleyen Bir Makine İçin İlk Hareket Valfi.

Mevcut buluş, bir vakum sisteminde (1000) çalışan akışkanla işleyen makine (200) için bir ilk hareket valfi (100) ile ilgilidir. İlk hareket valfi (100),- gazın içeri girmesine izin veren bir açıklığa (17) sahip bir valf gövdesi (10) ve bir kılavuz (18A) içerisinde serbest şekilde kayan bir milin (16) üzerine geçmiş olan bir hareketli piston (13) içermektedir. Valf gövdesinin (10) bir kısmı ile birlikte hareketli piston (13), bir odacık (30) tanımlamaktadır. Hareketli piston (13), deforme edilebilir bir diyaframın (15) hareketine maruz kalmaktadır. Kalibre edilmiş bir kısma deliği (16B), odacık (30) ve vakum sisteminin (1000) bir akışkan- dinamik hattı (500) arasında bir akışkan bağlantısı kurmak üzere mil (16) ile aynı hatta, bir açık delik (16A) ile seri halde sağlanmıştır. İlave olarak, mil (16) üzerine geçirilmiş olan bir perde (20) bulunmaktadır. Perde (20), odacık (30) ve akışkan- dinamik hat (500) arasındaki basınç farkının bir fonksiyonu olarak bir gaz pasajı açıklığını (10B) kapatmaktadır. Kalibre edilmiş kısma deliğinin (16B) ve söz konusu açık delik (16A), bir bağlantı (25) vasıtasıyla çevrelenmiş boşluk ve valf gövdesi (10) üst bölümünde konumlandırılmış bir kaplama elemanı (23) vasıtasıyla tanımlanmış bir boşluk (22) arasında bir akışkan bağlantısı kurmaktadır.