Buluş, yarı iletken, enerji, savunma, biyomedikal, optoelektronik ve nanoteknoloji gibi alanlarda kullanılan fonksiyonel ince film kaplamaların hava ile teması tamamen engellenmiş inert atmosfer koşullarında gerçekleştirilmesini sağlayan ve magnetron saçtırma, e- beam buharlaştırma ile termal buharlaştırma yöntemlerini tek bir platformda birleştirerek metalik, dielektrik ve yarı iletken tabakaların yüksek saflıkta, homojen kalınlıkta ve kontrollü biçimde üretilmesine olanak tanıyan entegre bir PVD (Fiziksel Buhar Biriktirme) sistemine ilişkindir. TR 2025 020031 A2
This record is compiled from official TPMK patent bulletins and is provided for information. The abstract text is as published, in Turkish. The current legal status (opposition, assignment, invalidation) requires a full register review. Ask our experts for a comprehensive patent search.