Aparat, bir hareketli substratı taşımak üzere düzenlenen bir destek, plazma üretmek üzere düzenlenen bir plazma üreteci ve plazma içerisindeki iyonları bir iyon akısı oluşturmak üzere hareketli substrata doğru yönlendirmek üzere düzenlenen bir elektrot içermektedir. İyon akısı 3.6 eV ile 250 eV arasında bir enerji seviyesine sahiptir. Alternatif olarak, plazma tanımlamaya yönelik aparat, çok sayıda aralıklı parkur bölümüne sahiptir.
This record is compiled from official TPMK patent bulletins and is provided for information. The abstract text is as published, in Turkish. The current legal status (opposition, assignment, invalidation) requires a full register review. Ask our experts for a comprehensive patent search.
