Bu buluş mikro elektro-mekanik sistem üretimi yöntemleri ile ilgili olup, özellikle tanışanabilir mikro gaz sensörü uygulamalarında kullanılmak üzere düşük güç tüketimi ve yüksek sıcaklık homojenitesi sağlayan kesintisiz ve kare geometride düzlemsel direnç tabakasına sahip bir mikro ısıtıcı taban, bunun üretim yöntemi ve bu mikro ısıtıcı tabanı içeren bir sensör ile ilgilidir.
This record is compiled from official TPMK patent bulletins and is provided for information. The abstract text is as published, in Turkish. The current legal status (opposition, assignment, invalidation) requires a full register review. Ask our experts for a comprehensive patent search.
