Buluş bir ivmelenme sensörü ile ve bu tip bir ivmelenme sensörünün üretimi için bir metot ile ilgilidir. Daha doğrusu, ivmelenme sensörünün substrat yüzeyine paralel bir ivmelenmenin ölçülmesi için bir mikro-elektro-mekanik ivmelenme sensörü ile ve bu tip bir mikro mekanik ivmelenme sensörünün üretimi için bir metot ile ilgilidir.
This record is compiled from official TPMK patent bulletins and is provided for information. The abstract text is as published, in Turkish. The current legal status (opposition, assignment, invalidation) requires a full register review. Ask our experts for a comprehensive patent search.
