Bu buluş; sıcaklık sensörü ve kızılötesi algılama (IR) uygulamalarında yaygın olarak kullanılan CMOS-MEMS ve/veya MEMS tabanlı mikrobolometrelerde termal algılamayı arttırmaya yönelik yöntem ile ilgili olup, özelliği; çekme kuvvetinin etkisi ile iki ucu sabit ve en az bir iletken içeren çubuğun ortam sıcaklığına bağlı frekans değişimi (FS = Fr1-Fr2) grafiğindeki birinci tepe noktası (X) ve frekans değişimi (FS = Fr1-Fr2) grafiğindeki ikinci tepe noktasındaki (Y) mutlak değerlerin toplanması (10), birbirine yakın olan iki sabit çubuk arasına uygulanan çekme gücünün azaltılması sonucu sıcaklık frekans katsayısının (TCF) artması ve dolayısıyla toplam mutlak FS (X + mutlak Y) değernin artması (20), CMOS-MEMS veya MEMS teknolojisinde kullanılan rezonatörün hassasiyeti değiştirilmeden kalınlığının (W) değiştirelerek cihazın çalışma sıcaklığı ve k sabiti (rijitlik değeri) arasında optimizasyonun yapılması (30) işlem basamaklarını içermesidir.
This record is compiled from official TPMK patent bulletins and is provided for information. The abstract text is as published, in Turkish. The current legal status (opposition, assignment, invalidation) requires a full register review. Ask our experts for a comprehensive patent search.
